Puas yog Kev Siv Ob Chav O-Nplhaib Sealing System ntawm Mounting Flange tshem tawm cov dej ntws hauv PFA rhaub rau siab-Cov ntawv thov nqus tsev (0.01 mbar)?

Vim kev nkag mus los ntawm elastomer thiab micro- leakage ntawm qhov kev sib cuag, ib qho O- lub nplhaib foob ntawm PFA lub rhaub flange yog qee zaum tsis txaus rau siab - lub tshuab nqus tsev xav tau qhov siab tsawg li 0.01 mbar (10⁻¹ bar). Cov dej xau tuaj yeem txo qis los ntawm 10⁻³–10⁻² mbar·L / s (ib lub foob) mus rau 10⁻◦–10⁻² mbar·L / s (tshem tau rau siab tshaj- daim ntawv thov nqus tsev) nrog ob chav O- lub nplhaib sealing system nrog lub tshuab nqus tsev vacuum ob npaug (qhov nruab nrab lub tshuab nqus tsev vacuum). Lub tshuab nqus tsev nqus tau tshem tawm cov roj uas ntws dhau los ntawm thawj O-nplhaib ua ntej nws tuaj yeem ncav cuag O- lub nplhaib thib ob, tsim kom muaj qhov ntim tiv thaiv. Ib lub hlau- kaw flange (ConFlat hom) yog qhov tsim nyog rau lub tshuab nqus tsev siab tshaj plaws (10⁻² mbar thiab hauv qab). Ob lub O-ntiv nplhaib system yog qhov txo qis dua li kev tshem tawm tag nrho. Rau nruab nrab mus rau siab nqus (10⁻³ txog 10⁻◦ mbar), nws ua haujlwm zoo heev. Qhov nyuaj ntxiv rau PFA cov cua sov tsuas yog lav thaum cov pa xau tsawg dua 10⁻² mbar·L / s.

Leakage Routes thiab Ob Chav Seal Mechanism
Peb txoj hauv kev ua rau cov dej xau hauv ib qho O- lub nplhaib foob (Viton lossis FFKM): (1) gas permeation los ntawm elastomer (10⁻³–10⁻³ mbar·L / s ib cm ntawm qhov ntev foob); (2) micro-channels ntawm O- nplhaib-flange interface (10⁻◦–10⁻³ mbar·L/s rau 100 mm flange); thiab (3) lub PFA-hlau interface nws tus kheej (lub rhaub sheath hla lub flange). Feem ntau, ib lub foob tuaj yeem muaj qhov xau ntawm 10⁻³–10⁻² mbar·L / s, uas yog siab dhau rau lub tshuab nqus tsev siab.

Ib lub nplhaib thib ob O-nplhaib thiab qhov chaw nres nkoj nqus tau ntxiv rau hauv qhov ntxaib O- lub nplhaib. Lub tshuab nqus tsev me me tshem tawm thaj tsam ntawm O-rings. Ib qho roj uas ntws dhau los ntawm thawj O-nplhaib raug tso tawm tam sim ntawd thiab yeej tsis ua rau nws thib ob. Cov khoom ntawm (txog tus nqi ntawm thawj foob) × (txog tus nqi ntawm lub foob thib ob) / (tswj ceev) yog tus nqi xau zoo. Tus nqi ntws tawm ntawm 10⁻² thiab 10⁻² mbar·L / s ua tau hauv kev xyaum.

Kev sib piv ntawm Leak Rates rau 50 mm PFA Heater Flanges
Cov ntaub ntawv, kev teeb tsa foob, qhov ua tiav tuaj yeem xau (mbar·L / s), Kev tsim nyog nqus tsev, thiab tus nqi nce (%)
Compression ib leeg O-ring FKM 10⁻³–10⁻¹ 1–10 mbar (nqus nqus tsev vacuum) 0%
Ib leeg O-ring (FFKM, Kalrez) FFKM 10⁻◦–10⁻¹ 0.1–1 mbar +10%
FKM + roj 10⁻◦–10⁻◦ 0.01–0.1 mbar + 15% ib leeg O-ntiv nplhaib nrog zawj sealant (nqus roj)
Tsis yog-pumped ob O-ring FKM + FKM 10⁻²–10⁻◦ 0.1–1 mbar + 20%
Ob chav O-ntiv nplhaib (pumped, ntxhib twj tso kua mis) FKM + FKM 10⁻◦–10⁻¹ mbar +35%
Ob chav O-nplhaib (tso, turbo twj tso kua mis) FFKM + FFKM 10⁻²–10⁻◦ mbar +50%
Hlau foob (tooj liab gasket, ConFlat) Aluminium lossis tooj liab<10⁻¹ +100% Extremely high vacuum
PFA welded rau hlau flange<10⁻¹ (through PFA) Welded PFA-to-metal transition (hermetic)PFA permeation limit of +200%
Txhim kho PFA Lub Cuab Yeej Siv Tau
Txhawm rau nruab ob lub O- nplhaib foob rau siab- lub tshuab nqus tsev rau ntawm PFA rhaub flange:

Flange tsim: Lub tank sab ntawm PFA flange yuav tsum muaj ob lub ntsiab lus O-ntiv nplhaib grooves uas yog 15-25 mm sib nrug. Muaj qhov chaw nres nkoj (1/4 nti lossis 6 hli) hauv qhov chaw nruab nrab ntawm O-rings uas txuas nrog lub tshuab nqus tsev twj (rotary vane, 10⁻² mbar).

O- cov khoom siv nplhaib: Rau kev sib xyaw tshuaj lom neeg nrog kev tawm tsam, siv FFKM (Kalrez, Chemraz). Rau qhov tsis yog - vapors txhoj puab heev, FKM (Viton) yog qhov tsim nyog.

Torque: Kom compress O-rings los ntawm 20–25% ntawm lawv tus ntoo khaub lig-sectional txoj kab uas hla, uniformly tighten flange bolts nyob rau hauv lub hnub qub qauv.

Pumping: Thoob plaws hauv kev ua haujlwm, inter{0}} ntim ntim yuav tsum tau txuas mus ntxiv. Nws yog qhov tsim nyog kom muaj lub tshuab nqus tsev me me tshwj xeeb (10 L / min).

Heater sheath: Lwm txoj hauv kev tuaj yeem xau yog PFA- mus rau -cov tub ntxhais hlau tawm ntawm qhov kawg txias. Siv lub foob foob ua los ntawm cov hlau welded lossis silicone overmold (saib Tshooj #87).

Piv txwv hauv Teb
Lub tshuab cua sov PFA yuav tsum tau ua kom lub chaw tshawb fawb semiconductor ntawm 80℃ntawm lub tshuab nqus tsev siab (10⁻¹ mbar). Cov dej xau nyob ib puag ncig lub rhaub flange ua rau lub siab nce siab (10⁻³ mbar) siv ib qho O- nplhaib foob. Ib lub twj tso kua mis ob lub O- nplhaib foob (ob lub FKM O- rings nrog ib qho chaw nruab nrab txuas mus rau lub twj tso kua mis me me) tau muab tso rau hauv qhov chaw ntawm qhov kev npaj yav dhau los. Rau rau lub hlis, lub chamber siab nyob tas li ntawm 2 × 10⁻◦ mbar. Ntau qhov kev tso dej tau ua tiav nrog lub rhaub. Lub twj tso kua mis thiab flange hloov kho tuaj ntawm tus nqi ntxiv ntawm $ 500.

PFA Cov Kev Txwv hauv Lub Nqus Tsev Siab
Txawm tias tsis muaj qhov sib khi, PFA sheath nws tus kheej yog roj-permeable thiab outgasses, tso dej nqus thiab cov kuab tshuaj tshuav. Outgassing los ntawm PFA yuav txwv lub siab tom qab ntawm lub siab qis dua 10⁻² mbar (feem ntau 10⁻◦–10⁻² mbar). Tsis hais txog kev sib khi, PFA tsis tuaj yeem siv ntawm ultra- lub tshuab nqus tsev siab (UHV,<10⁻¹ mbar). PFA with a double O-ring seal is suitable for medium to high vacuum (10⁻³ to 10⁻◦ mbar).

Hauv kev xaus, siv ob lub O-nplhaib thiab cov twj tso kua mis txo qis rau 10⁻²–10⁻² mbar·L / s.
Ob lub O-ring sealing system ntawm PFA rhaub mounting flange, nrog rau inter- foob ntim tawm los ntawm lub twj tso kua mis, txo cov pa tawm ntawm 10⁻³–10⁻² mbar·L / s (ib lub foob) mus rau 10⁻◦–10⁻² rau mbar siab 0.01 mbar (10⁻¹ bar). Rau feem ntau ntawm nruab nrab thiab siab - cov txheej txheem nqus tsev vacuum, qhov no txaus. Txawm hais tias qhov xau raug txo los ntawm ob mus rau plaub qhov kev txiav txim ntawm qhov loj, nws tsis yog tshem tawm tag nrho los ntawm kev siv tshuab. Hlau sealing los yog hermetic PFA- mus rau - hlau hloov yuav tsum raug txiav txim siab rau qhov siab dua 10⁻◦ mbar. Rau lub tshuab nqus tsev vacuum, txheej chambers, thiab degassing tshuab, ob lub foob yog ib qho kev xaiv ua haujlwm. Nws hloov qhov teeb meem flange mus rau hauv ib qho kev cuam tshuam. Ze li flawless, tab sis tsis heev. Nws yog txaus rau feem ntau ntawm siab - nqus tsev vacuum.