Cov qauv thiab cov khoom ntawm TiCN Thin Films Npaj los ntawm Nqus Nyiaj Sputtering
Tso lus
Cov qauv thiab cov khoom ntawm TiCN Thin Films Npaj los ntawm Nqus Nyiaj Sputtering
TiCN nyias zaj duab xis tau npaj rau ntawm M2 high-speed steel substrates los ntawm co-sputtering graphite lub hom phiaj thiab titanium lub hom phiaj nyob rau hauv ib qho chaw sib xyaw ntawm nitrogen thiab argon. Lub hardness ntawm TiCN nyias zaj duab xis tau kuaj pom, thiab cov txheej txheem indentation thiab cov txheej txheem khawb tau siv los ntsuas lub xeev kev sib txuas ntawm cov zaj duab xis nyias thiab cov substrate. Kev txiav txim siab ntawm TiCN nyias zaj duab xis kais tau ua los tshawb xyuas qhov ntev ntawm TiCN nyias zaj duab xis. Cov txiaj ntsig tau pom tias C atoms hauv TiCN zaj duab xis muaj nyob rau hauv daim ntawv ntawm kev daws teeb meem hauv TiN lattice, kev taw qhia ntawm TiCN zaj duab xis ntawm (111) siv lead ua dav hlau yog qhov tsis muaj zog dua li ntawm TiN zaj duab xis, thiab kev tawg ntawm TiCN zaj duab xis yog cov qauv thaiv ntev, thiab nws qhov ntev ntev yog loj dua li ntawm TiN zaj duab xis. Cov yeeb yaj kiab me me, thiab qhov chaw ntawm TiCN zaj duab xis yog qhov tsis sib xws. Lub zog sib txuas ntawm TiCN zaj duab xis thiab cov substrate yog hais txog 40N. C atoms nyob rau hauv TiCN zaj duab xis muaj cov nyhuv ntawm cov tshuaj muaj zog ntxiv dag zog thiab grain refinement ntxiv dag zog rau. Lub hardness ntawm TiCN zaj duab xis yog nce los ntawm 20.3 mus rau 33.4Gpa ntawm TiN zaj duab xis. TiCN zaj duab xis muaj cov khoom zoo los tiv thaiv kev sib txhuam, thiab kev pab cuam lub neej ntawm TiCN zaj duab xis kais thaum tapping 40Cr cov ntaub ntawv yog qhov ntev dua li ntawm TiN zaj duab xis kais dej thiab cov kais dej uas tsis muaj coated.
Kev npaj TiCN Thin Films los ntawm Nqus Nyiaj-plating Khoom C Source
Tam sim no, feem ntau ntawm PVD txoj kev siv CH4 lossis C2H2 ua C qhov los npaj TiCN nyias zaj duab xis. Thaum lub sij hawm npaj, TiCN cov yeeb yaj kiab nyias nrog cov ntsiab lus sib txawv thiab cov khoom sib txawv tuaj yeem tau txais los ntawm kev kho cov roj ntws piv. Txawm li cas los xij, qhov teeb meem ntawm txoj kev no yog tias cov pa roj carbon ntau dhau yuav ua rau muaj kuab paug loj rau cov qauv sab hauv ntawm lub tshuab txheej tshuab rau lub cev, thiab cov seem ntawm cov pa roj carbon monoxide nyob rau ntawm phab ntsa ntawm lub qhov cub yuav raug tso tawm thaum lub sij hawm txheej txheej tom ntej, uas yuav raug tshem tawm. cuam tshuam nrog lub deposition huab cua ntawm zaj duab xis. Kev tsim khoom tsis tu ncua yog qhov tsis zoo, thiab feem ntau ua rau kev ua haujlwm tsis ruaj khov ntawm nyias zaj duab xis workpieces hauv kev tsim khoom.
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