Hom kev ua haujlwm ntawm evaporation system ntawm lub tshuab nqus tsev txheej

Hom kev ua haujlwm ntawm evaporation system ntawm lub tshuab nqus tsev txheej

Cov txheej txheem evaporation ntawm PVD lub tshuab nqus tsev txheej khoom siv feem ntau yog hais txog ib feem ntawm cov khoom siv ua yeeb yaj kiab. Muaj ntau ntau zaj duab xis tsim cov cuab yeej hauv PVD txheej tshuab. PVD txheej muaj ntau txoj hauv kev xws li cua sov, xov tooj cua zaus sputtering, thiab ion plating.

Nqus txheej tshuab pa luam yeeb lub cev

Feem ntau, nws suav nrog cov kev xav tau ntawm cov khoom siv lub tshuab nqus tsev rau qhov ntsuas kub ntawm qhov chaw kuaj (lossis rhiav), qhov chaw ib puag ncig xws li cov khoom hauv huab cua, thiab cov kev xav tau ntawm cov khoom lossis cov chaw hauv lub xeev lub tshuab nqus tsev lossis lub tshuab nqus tsev. Ob yam no muaj kev sib raug zoo. Qhov zoo ntawm ib puag ncig ib puag ncig cuam tshuam ncaj qha rau kev siv lub tshuab nqus tsev; thiab seb lub tshuab nqus tsev vacuum ntawm cov khoom siv lub tshuab nqus tsev los yog cov khoom ntim rau hauv nws tau ntxuav, nws ncaj qha cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv.

Yog tias huab cua muaj cov pa dej ntau thiab cov plua plav, nws yog qhov nyuaj rau kev ua tiav qhov kev xav tau ntawm lub tshuab nqus tsev los ntawm kev siv lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis los ntawm lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis kom tsis txhob ntxuav lub tshuab nqus tsev vacuum. Raws li peb txhua tus paub, cov twj siv roj foob tsis haum rau kev tso tawm cov pa roj uas muaj cov hmoov av uas muaj corrosive rau hlau thiab ua rau cov roj nqus. Dej vapor yog cov roj condensable. Thaum cov roj condensable tso tawm ntau ntau, cov pa phem rau cov roj twj tso kua mis yuav hnyav dua, thiab vim li ntawd, lub tshuab nqus tsev qhov kawg ntawm lub twj tso kua mis yuav poob, thiab kev ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis yuav raug rhuav tshem.

Plua plav hauv kev lag luam ib puag ncig yog qhov txawv ntawm cov hmoov, tsis muaj npe, thiab hmoov av. Cov hmoov yog ib yam khoom nyob rau hauv ib tug sib sau los yog dispersed lub xeev ntawm hmoov los yog khoom hais. Lub suab hu ua hmoov yog hais txog kev sau cov khoom me me, thiab cov khoom hais txog cov khoom me me uas tuaj yeem suav tau ib qho los ntawm ib qho.

Cov pa luam yeeb yog ib qho ntawm cov khoom siv uas cov khoom me me lossis cov kua ua kua muaj nyob hauv cov roj hauv lub xeev ntab. Cov teeb meem, txawm tias cov khoom los yog kua, hauv daim ntawv ntawm cov khoom tuaj yeem raug hu ua cov hmoov av. Tus txheej txheem ntawm kev huv huv yog txiav txim siab los ntawm qhov loj ntawm qhov particle txoj kab uas hla, thiaj li mus kho cov theem ntawm chav huv. Nws tsis yog tsuas yog haum rau kev lag luam sectors nrog cov kev xav tau huv, tab sis kuj tsim nyog rau lub tshuab nqus tsev kom huv si.

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