Raj hom pecvd hluav taws xob rauv siv hauv kev lag luam photovoltaic

1, Cov tub ntxhais muaj nuj nqi: Ua tau nyiaj zoo ntawm cov kev ua yeeb yaj kiab zoo
Tubular Pecvd Rauv (Plasma Enhanced tshuaj vapor ouplet opace) yog cov cuab yeej siv ntau heev hauv kev tsim khoom ntawm photovoltaic. Nws cov haujlwm tseem ceeb yog tso nyiaj silicon nitride (Sinx) tiv thaiv cov yeeb yaj kiab ntawm cov ntshav crystalline los ntawm cov tshuaj ntxuav cua sov vapor vapor inuplor deposition technology. Zaj yeeb yaj kiab no txhim kho kev ua haujlwm roj teeb los ntawm cov txheej txheem nram qab no:
Kev ua kom zoo dua qub: los ntawm kev kho cov tuab thiab ua yeeb yam rau sab hauv lub teeb meem, thiab kev ua kom muaj kev cuam tshuam rau kev cuam tshuam rau sab hauv
Deg passivation: lub hydrogen caij hauv Sinx tuaj yeem passivate lattice qhov tsis xws luag (txo cov pob zeb hluav taws xob) ntawm cov khoom siv hluav taws xob (thiab nce hluav taws xob.
Cov kev tiv thaiv txhua yam: zaj yeeb yaj kiab ua haujlwm ua txheej txheem encapsulation los tiv thaiv kev sib kis lossis tshuab puas rau cov txheej txheem silicon thaum cov txheej txheem silicon thaum cov txheej txheem tom ntej.

2, Cov txiaj ntsig zoo: tsis tshua muaj kub, siab efficiency, kho tswj
Tsawg Tsawg Kub Sedimentation cov txheej txheem
Kev siv tshuab hluav taws xob cov ntshav rau cov roj ua kom sov, txo cov ntaub ntawv tso tawm rau qhov kub thiab txias rau kev tsim cov roj av nyias thiab roj teeb.
High sedimentation tus nqi thiab kev sib dhos
Xov tooj cua NTIM thev naus laus zis: los ntawm kev tsim cov hluav taws xob siab los ntawm cov hluav taws xob siab dua (xws li tus nqi ntawm cov khoom siv hluav taws xob muaj peev xwm nce mus txog 10-50nm / min.
Kev tswj hwm cov kev tswj hwm: tau txais ntau-taw tes faib khoom, thiab muaj kev txawj ntse ntxiv rau ± 5%, ua kom cov kev xav tau ntawm cov khoom lag luam loj.
Cov Khoom Siv Ntau
Nws tuaj yeem tso cov yeeb yaj kiab Dielectric xws li sio ₂, si, al ₂, xws li cov roj teeb ntawm cov roj teeb thiab rov qab cov roj teeb passivated).
Kev tiv thaiv ib puag ncig thiab kev txuag hluav taws xob
Tsawg cov kev kub siab siv hluav taws xob txo cov hluav taws xob tau thaum tsis txhob muaj cov tshuaj uas muaj teeb meem ntawm cov khoom lag luam zoo, uas yog nyob rau hauv kev lag luam ntsuab hauv photovoltaic.

3, qauv qauv qauv thiab cov ntsiab lus tsis sib xws
Raug kev teeb tsa
Cua Sov System: Thaj Chaw Ib Leeg lossis ntau qhov kub thiab txias ua kom sov sov, nrog kev tswj hwm kub siab kawg ntawm ± 1 degree.
Lub tshuab nqus tsev: Kev sib xyaw ua ke ntawm cov roj molecular thiab tshuab nqus dej, nrog lub siab ntev tshaj plaws ntawm tsawg dua lossis sib npaug ntawm cov cai ua yeeb yam tso cai.
RF fais fab mov: Txhawb kev tswj hwm kev mob ntshav siab.
Roj Roj: Ntau channel ntws loj heev (MFC), txhawb nqa 1-6 roj sib tov.
Txheej Txheem Tswj
Cov kais dej kub uas kub ntxhov: Txhawb cov kev pab cuam nce thiab lub caij nplooj zeeg kev kub siab ntau tshaj 30 ntu, adapting rau cov ntaub ntawv sib txawv.
Kev tswj siab: kev ua siab zoo ntau -100KPA rau 100kpa, txhawb nqa qis zog rau cov txheej txheem cua ntxaij.
Saib xyuas cov neeg ntse: nruab nrog cov haujlwm xws li siv lub tswb, overcurrent kev tiv thaiv, thiab disconect promptures kom ntseeg tau tias kev ua haujlwm ruaj khov ntawm cov khoom siv.

4, Daim Ntawv Thov Kev Sau Ntawv thiab Kev Lag Luam Tiam
Cov Kev Siv MaintSaib
Perc Cell: Los ntawm kev tso nyiaj rau ib qho backside al ₂ o ₂ o ₂ o ₂ o ₂ / Sinx Lub Luag Haujlwm, cov kev xav ua kom tiv thaiv tau ua tiav tau tiav.
Topcon Roj Teeb: Siv cov Pecvd Dependition Oxide txheej (sio ₂ide txheej (soofed ₂
Cov roj teeb HJT: Deposition of Intrinsic Amorphous Silicon (IAMStalline Silicon Heteronous Silicon Heteronous rau kev ua kom zoo ntawm kev cuam tshuam ntawm cov xeev tsis muaj peev xwm.