Dab tsi roj yuav siv tau rau hauv ntshav ntshav ua kom zoo nkauj ua kom huv lub tshuab ua kom huv?

Refeative Gases:
Silane (Sih ₄): Siv rau kev ua kom cov yeeb yaj kiab txhuv silicon-raws li Silicon, sidocrystalline silicon, sidicon nitride (sidicon oxide (sio ₂) .
Ammonia roj (NH3): Feem ntau siv nyob rau hauv kev sib txuas nrog kev ua si kom tso nyiaj rau cov lus qhia nitride}.
Nitrogen (n ₂): tuaj yeem siv ua cov cab kuj lossis cov roj ntsha tau koom nrog cov yeeb yaj kiab tso tawm xws li silicon nitride .
Nitrous oxide (n ₂ o) lossis oxygen (o ₂): siv los tso cov duab silicon oxide thiab muab cov pa oxygen {}}
Methane (ch ₄) lossis lwm yam hydrocarbons: Siv rau kev ua pa roj carbon monoxide, xws li pob zeb diamond-zoo li cov pa roj carbon (DLC) cov yeeb yaj kiab.

Inert roj (Carrier roj / diluent roj):
Argon (ar): feem ntau siv raws li cov cab kuj lossis ua kom muaj roj los pab tswj lub siab ntshav thiab tswj hwm ib feem ntawm cov tshuaj tiv thaiv roj .
Helium (nws): nws kuj tseem siv tau los ua cov cab kuj thiab muaj siab thermal conductivity, uas pab tswj cov tshuaj tiv thaiv kub .

Doping Roj:
Phosphine (Ph α): siv rau n-hom doping los npaj n-hom sandiconductor nyias cov yeeb yaj kiab.
Borane (b ₂): Siv rau P-Hom Doping thiab npaj p-hom sandiconductor nyias cov yeeb yaj kiab.
Boron Trifluoride (BF α): kuj tseem siv tau ua P-hom doping qhov .

Lwm cov roj av tshwj xeeb:
Hydrogen (H ₂): feem ntau yog siv nyob rau hauv kev txo qis los yog ua kev sib xyaw ua ke los tswj hwm tus nqi tso tawm thiab cov yam ntxwv ntawm cov yeeb yaj kiab nyias.
Sulphur hexafluoride (sf ₆): Siv nyob rau hauv qee cov txheej txheem tshwj xeeb rau etching lossis kev kho sab saum toj .

Yam cuam tshuam muaj kev tiv thaiv kev xaiv roj:
Zaj duab xis Hom: Xaiv cov tshuaj sib raug raws li cov khoom siv ua ntej yuav tsum tau tso tseg (xws li DLC, DLC, thiab lwm yam {{{1}.
Doping yuav tsum: Los npaj P-hom Sniconductor nyias cov yeeb yaj kiab, sib xws doping roj yuav tsum tau qhia.
Txheej Txheem Cov Txheej Txheem: Cov kev txwv tsis zoo xws li cov roj ntws roj av, sib faib, thiab lub siab tuaj yeem cuam tshuam nrog cov yeeb yaj kiab tso tawm, ua tau zoo, thiab kev ua yeeb yam ntawm cov yeeb yaj kiab nyias {}}
Kev Nyab Xeeb: Qee cov pa nkas, xws li kab ua si thiab phosphine, yog cov nplaim taws, tawg, lossis tshuaj lom thiab lom zem nruj rau kev ua haujlwm kev ua haujlwm ua haujlwm.

Cov ntaub ntawv thov piv txwv:
Kev tso nyiaj ntawm sillicon nitride nyias zaj duab xis: Feem ntau, sith ₄) thiab qee zaum nh3) tau txuas ntxiv raws li cov roj av roj carier {}}
Kev tso nyiaj ntawm silicon oxide nyias cov yeeb yaj kiab: feem ntau, silane (n ₂ o) lossis nitrous oxide (O ₂) tau qhia .
Deposition DLC Zaj Duab Xis: Feem ntau, methane (ch ₄) thiab hydrogen (h ₂) tau qhia, thiab qee zaum Argon (A)) ntxiv raws li cov roj av roj av .