Dab tsi yog qhov ntsuas kub rau kev ua si sov thermal sai? Qhov tseem ceeb rau kev tsim khoom lag luam

Kev ua haujlwm sai thermal (quenched) . Tus txheej txheem no yog qhov tseem ceeb kom ua tiav cov khoom siv uas xav tau yam tsis muaj kev puas tsuaj lossis kev puas tsuaj rau wafer {{}

Cov Ntsiab Lus Tseem Ceeb:
Dab tsi yog qhov ntsuas kub rau kev ua si thermal sai thermal? Qhov tseem ceeb rau kev tsim khoom lag luam
RTA kub ntau yam:

Qhov kub thiab txias rau kev siv thermal sai thermal yog ib txwm 1000 k txog 1500 .
Qhov no yog xaiv vim tias nws yog qhov siab txaus los pab txhawb cov txheej txheem xws li dopant ua kom dhau los yog li ntawd nws ua kom dhau mus rau wafer .
Cov cua kub ceev:

Cov wafer yog rhuab nrawm nrawm los ntawm huab cua sov mus rau lub hom phiaj kub sov .
Cov cua kub ceev tseem ceeb rau kev txo lub sijhawm ntawm cov kev siv hluav taws xob kub siab, uas tuaj yeem ua rau tsis muaj kev cuam tshuam lossis lwm yam thermal cuam tshuam .
Lub sijhawm luv luv ntawm qhov kub:

Thaum Wafer ncav cuag lub hom phiaj kub, nws yog muaj nyob ntawm qhov kub ntawd rau ob peb feeb {{}} ob peb feeb.
Qhov kev txwv luv luv no yog qhov tseem ceeb rau kev ua tiav cov khoom siv uas xav tau thaum muaj kev phom sij ntawm dopal kev puas tsuaj los yog dhau los ntawm dopants .
Quenching:

Tom qab cov so kom sov sov siab, lub wafer yog quenched (txias sai sai) .
Quenching tiv thaiv ntxiv diffusion lossis kev hloov pauv uas tshwm sim thaum lub sijhawm ua kom qeeb, pab ntsuas kom ntsuas cov khoom xav {}}
Qhov tseem ceeb ntawm kev tswj qhov kub:

Kho kom meej tswj ntawm kub yog tseem ceeb rau rta .
Qhov kub thiab txias uas muaj tsawg heev yuav tsis ua tiav cov khoom siv uas xav tau, thaum kub dhau los yuav ua rau muaj kev puas tsuaj lossis dhau los ntawm dopants .
Cov ntawv thov ntawm RTA:

RTA yog dav siv nyob rau hauv semiconductor cov txheej txheem raug xws li dopant ua kom muaj zog, kho kom puas tsuaj, thiab crystallization .
Lub peev xwm sai sai kub thiab txias wafers ua rau cov khoom siv semiconductor, qhov twg los tswj cov khoom siv yog tseem ceeb .
Kev sib piv nrog cov txheej txheem annealing:

Qhov tsis zoo li cov ntawv tso cai ib txwm muaj, uas muaj cov cua sov thiab huab cua txias, RTA nta nrawm nrawm cua sov thizles {}}
Qhov kev ceev ceev no tso cai rau kev tswj hwm kev pheej nyiaj txiag thiab txo qis kev pheej hmoo ntawm kev tsis txaus siab, ua rau me, ntau dua sliconductor cov cuab yeej hluav taws xob {}}
Thermal Kev Siv Nyiaj Txiag:

Cov nyiaj siv thermal yog hais txog tag nrho cov nyiaj ntawm lub zog cua sov uas cov wafer yog raug thaum lub sij hawm anealing txheej txheem .
Cov cua sov ceev ceev thiab cua txias kom txo qis ntawm cov khoom siv thermal, uas yog qhov tseem ceeb los txhawb cov khoom siv me me uas muaj ntau qhov ntau thiab tsawg}
Hauv cov ntsiab lus, qhov ntsuas kub ntawm kev nrawm nrawm thermal aneal feem ntau yog qhov kev pheej hmoo ua kom muaj kev phom sij rau qhov no, thiab tom qab ntawd cov kev pheej hmoo ua kom muaj kev puas tsuaj rau cov kev ua kom zoo nkauj